半導体関係設備

我が国の基幹産業であるエレクトロニクス・IT業界に最新設備からレトロフィットまで、各種設備のご提案から納入までの一貫したサービスをご提供致します。

1.半導体関連・・・シリコンウェハー・化合物ウェハー・太陽電池機器

加工機

ワイヤーソー ラップ エッジ面取
内/外周刃切断 ポリッシュマシン CMP
全自動研削盤 ダイシングマシン スラリー供給/リサイクルシステム

クリーン

クリーンルーム ブース ベンチ恒温恒湿槽

ウェット

ウエットステーション 純水製造装置 機能水供給システム
石英部品

ウェット

CO2洗浄システム 厚み測定 寸法測定
平坦度測定 抵抗率計 表面粗さ計
エッジプロファイラー 顕微鏡システム ライフタイム測定
膜厚測定

ドライ

拡散 蒸着 CVD
スパッタ ドライエッチャー シンター炉
ヒーター 処理装置

2.FDP関連・・・液晶・PDP・ED・EL

レーザースクライパ ベベリング 露光機
スペーサー散布 スペーサーチェッカー パターン検査
重ね合わせ UV照射 ホットプレート
エージング

3.光学レンズ関連・・・ガラスレンズ・プラスチックレンズ

全自動研削盤 ラップ ポリッシュ
芯取機 蒸着装置 全自動洗浄機
非球面加工機 自由曲面加工機

4.メディア関連・・・HDD・磁気ヘッド・DVD・ICカード

微小変位計 振動機 欠陥検査装置
顕微鏡 AFM 表面粗さ計
膜圧計

5.その他精密機械・・・プリント基盤・MEMS・水晶振動子・OPドラム