半導体関係設備
我が国の基幹産業であるエレクトロニクス・IT業界に最新設備からレトロフィットまで、各種設備のご提案から納入までの一貫したサービスをご提供致します。
1.半導体関連・・・シリコンウェハー・化合物ウェハー・太陽電池機器
加工機
| ワイヤーソー | ラップ | エッジ面取 |
| 内/外周刃切断 | ポリッシュマシン | CMP |
| 全自動研削盤 | ダイシングマシン | スラリー供給/リサイクルシステム |
クリーン
| クリーンルーム | ブース | ベンチ恒温恒湿槽 |
ウェット
| ウエットステーション | 純水製造装置 | 機能水供給システム |
| 石英部品 |
ウェット
| CO2洗浄システム | 厚み測定 | 寸法測定 |
| 平坦度測定 | 抵抗率計 | 表面粗さ計 |
| エッジプロファイラー | 顕微鏡システム | ライフタイム測定 |
| 膜厚測定 |
ドライ
| 拡散 | 蒸着 | CVD |
| スパッタ | ドライエッチャー | シンター炉 |
| ヒーター | 処理装置 |
2.FDP関連・・・液晶・PDP・ED・EL
| レーザースクライパ | ベベリング | 露光機 |
| スペーサー散布 | スペーサーチェッカー | パターン検査 |
| 重ね合わせ | UV照射 | ホットプレート |
| エージング |
3.光学レンズ関連・・・ガラスレンズ・プラスチックレンズ
| 全自動研削盤 | ラップ | ポリッシュ |
| 芯取機 | 蒸着装置 | 全自動洗浄機 |
| 非球面加工機 | 自由曲面加工機 |
4.メディア関連・・・HDD・磁気ヘッド・DVD・ICカード
| 微小変位計 | 振動機 | 欠陥検査装置 |
| 顕微鏡 | AFM | 表面粗さ計 |
| 膜圧計 |